非金属类全氟气体化合物
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非金属类全氟气体化合物
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产品描述
用于电子等行业的非金属类全氟气体化合物通常包括：
氟氮化合物：NF3；
氟碳化合物：CF4、C2F6、C3F8、COF2 ……；
氟硫化合物：SF4、SF6；
氟磷化合物：PF3、PF5；
氟砷化合物：AsF3、AsF5；
氟卤化合物：ClF3 、BrF3、IF5；
……。
我公司具备上述高纯气体的制备技术，可以为用户提供各种规模生产装置从设计到安装、试车的全套工程技术服务。
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应用：激光、纳米材料等研发 特点：金属电极，随制随用，不储存，安全管控简单。
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