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产品与服务

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致力于研究开发氟化工新材料、新产品、新工艺、新技术

含氟电子气体生产装置

  • 氟气与非金属或某些金属元素反应生成的全氟化合物气体材料，提纯后可用于半导体行业的蚀刻、掺杂、清洗等工艺，是一类重要的电子气体材料，在半导体加工中发挥极其重要的作用。主要包括：F₂/N₂、NF₃、SF₆、WF₆、PF₃、PF₅、CF₄、C₂F₆、C₃F₈、MoF₆ ...。
  • 我公司具备大部分含氟电子气体的制备技术，可以承揽这些电子气体生产装置从设计、加工到安装、调试全流程工程项目。
高纯氟气

高纯氟气

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我公司可为用户提供各种规模生产装置从设计到安装、试车的全套工程技术服务。

非金属类全氟气体化合物

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我公司可为用户提供各种规模生产装置从设计到安装、试车的全套工程技术服务。

金属类全氟气体化合物

金属类全氟气体化合物

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我公司可为用户提供各种规模生产装置从设计到安装、试车的全套工程技术服务。

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